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C。12。超微粒子的測試C 12 1、對潔凈室 區(qū),內(nèi)粒徑小于0 1μm的超微粒子的測試??稍谌N占用狀態(tài)中的任一種狀態(tài)下進(jìn)行測試.C,12,2,超微粒子的測試、宜采用凝聚核粒子計數(shù)器進(jìn)行。其采樣點和采樣流量可按本規(guī)范第C,1節(jié)的要求進(jìn)行。
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