2,術(shù)語 縮略語2、1.術(shù)。語2 0。1,潔凈廠房。industrial.cleanroom,對用于產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室與相關(guān)受控環(huán)境以及為其服務(wù)的動(dòng)力公用設(shè)施的總稱,2 0,2、潔凈度等級 classification、潔凈室 區(qū)。內(nèi)懸浮粒子潔凈度的水平、給出規(guī)定粒徑粒子的最大允許濃度 用每立方米空氣中的粒子數(shù)量表示,2、0,3 漏風(fēng)量、air.system leakage.ratio,風(fēng)管系統(tǒng)中.在某一靜壓下通過風(fēng)管 附件及其接口 在單位時(shí)間內(nèi)泄漏或滲入的空氣體積量.2.0。4,漏光檢測,air.leak、cheek,with.lighting,采用強(qiáng)光源對風(fēng)管的咬口,接縫,法蘭及其連接處進(jìn)行透光檢查,確定孔洞,縫隙等滲漏部位及數(shù)量的方法,2,0,5,特種氣體。special,gas,指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用的硅烷 磷烷。乙硼烷,砷烷,四氯化硅.氯氣等具有可燃,有毒,腐蝕或窒息等特性的氣體,2.0。6 化學(xué)品,chemical,指產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用的酸。堿 有機(jī)溶劑,有機(jī)物質(zhì)和氧化物等 2、0,7.配管。piping。潔凈廠房中 用以輸送,分配工藝用水,純水,各類氣體,化學(xué)品等的管路系統(tǒng)的管子。附件,管件.法蘭 螺栓連接件,墊片 閥門和其他組成件的組裝總成.2.0。8,射線照相檢驗(yàn)、radiographic,examination。對指定的一批配管的全部環(huán)向?qū)雍缚p所做的全圓周射線檢驗(yàn)和對縱焊縫所做的全長度射線檢驗(yàn)。