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2，術(shù)語(yǔ)、縮略語(yǔ)2.1，術(shù) 語(yǔ)2.0、1。潔凈廠房 industrial、cleanroom、對(duì)用于產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室與相關(guān)受控環(huán)境以及為其服務(wù)的動(dòng)力公用設(shè)施的總稱。2，0,2、潔凈度等級(jí),classification、潔凈室 區(qū)、內(nèi)懸浮粒子潔凈度的水平 給出規(guī)定粒徑粒子的最大允許濃度、用每立方米空氣中的粒子數(shù)量表示.2,0，3、漏風(fēng)量、air，system.leakage.ratio、風(fēng)管系統(tǒng)中 在某一靜壓下通過(guò)風(fēng)管,附件及其接口。在單位時(shí)間內(nèi)泄漏或滲入的空氣體積量.2，0,4、漏光檢測(cè)、air leak、cheek with lighting 采用強(qiáng)光源對(duì)風(fēng)管的咬口 接縫 法蘭及其連接處進(jìn)行透光檢查。確定孔洞,縫隙等滲漏部位及數(shù)量的方法、2、0,5.特種氣體、special。gas 指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中使用的硅烷。磷烷 乙硼烷.砷烷。四氯化硅.氯氣等具有可燃。有毒,腐蝕或窒息等特性的氣體,2.0,6、化學(xué)品、chemical,指產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中使用的酸 堿.有機(jī)溶劑、有機(jī)物質(zhì)和氧化物等，2 0 7,配管,piping、潔凈廠房中.用以輸送,分配工藝用水，純水.各類氣體.化學(xué)品等的管路系統(tǒng)的管子、附件 管件，法蘭。螺栓連接件。墊片、閥門和其他組成件的組裝總成。2。0.8，射線照相檢驗(yàn)，radiographic。examination、對(duì)指定的一批配管的全部環(huán)向?qū)雍缚p所做的全圓周射線檢驗(yàn)和對(duì)縱焊縫所做的全長(zhǎng)度射線檢驗(yàn).