亚洲综合网站久久久_人妻久久相姦中文字幕_四虎永久在线精品免费看_日韩精品无码一区

12，2。高純氣體、特種氣體供應(yīng)設(shè)施安裝12 2,1.高純氣體.特種氣體管道及其閥門.附件等的材質(zhì)應(yīng)符合工程設(shè)計(jì)文件的要求 采用低碳不銹鋼管時(shí),其安裝施工應(yīng)符合本規(guī)范第7,4節(jié)的規(guī)定。12。2.2 管路系統(tǒng)的試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)包括管路吹掃。氣密性、泄漏性試驗(yàn)和純度測(cè)試 主控項(xiàng)目12,2 3.高純氣體、特種氣體供應(yīng)設(shè)施安裝前.應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件和產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)的要求 檢查設(shè)備及填充的純化材料。閥門和管件的完整性。密封性.并應(yīng)做檢查記錄.檢查數(shù)量、按氣體品種。分系統(tǒng)全數(shù)檢查.檢驗(yàn)方法。觀察檢查 尺量，12,2，4.純化設(shè)備,特氣柜的搬運(yùn)。就位應(yīng)符合下列規(guī)定,1。搬入潔凈室、區(qū)、前應(yīng)進(jìn)行清潔。符合要求后應(yīng)從規(guī)定的設(shè)備搬入口運(yùn)入,2 整體設(shè)備搬運(yùn)時(shí) 應(yīng)按設(shè)備的構(gòu)造。管道及閥門等附件的配置狀況安全運(yùn)輸 不得倒置。并應(yīng)可靠固定 3,設(shè)備就位時(shí)，應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件和產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)要求、做好接管,接線定位.4.就位后、水.電接口應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件要求連接、5 氣體管道接口應(yīng)在分系統(tǒng)的氣體輸送管道安裝試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后再連接 檢查數(shù)量、按氣體品種、分系統(tǒng)全數(shù)檢查，檢驗(yàn)方法 觀察檢查，尺量 12.2，5.高純氣體.特種氣體系統(tǒng)的閥門箱、吹掃盤的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定 1、應(yīng)檢查箱體及箱內(nèi)閥門、儀表和附件的完整性,密封性和合格證書(shū)等，并應(yīng)做好記錄 2，安裝位置應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件。產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)要求進(jìn)行，并應(yīng)檢查接管、接線方位的正確性，3。氣體管道接口應(yīng)在所在系統(tǒng)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后再連接.檢查數(shù)量 按氣體品種,分系統(tǒng)全數(shù)檢查。檢驗(yàn)方法，觀察檢查 尺量 12.2，6,高純氣體。特種氣體設(shè)施施工安裝試運(yùn)轉(zhuǎn)的純度測(cè)試應(yīng)符合下列規(guī)定,1,純度測(cè)試介質(zhì)、宜采用工作氣體進(jìn)行,2，測(cè)試氣體的壓力,宜與輸送介質(zhì)的設(shè)計(jì)壓力相同.3，測(cè)試氣體的檢測(cè)取樣口或排氣接口、應(yīng)設(shè)在供氣系統(tǒng)中要求氣體純度及其雜質(zhì)含量最嚴(yán)格且距離最長(zhǎng)的用氣設(shè)備處，4。純度測(cè)試過(guò)程，取樣時(shí)間的間隔宜為4h,氣體樣品應(yīng)采用與輸送介質(zhì)純度及允許雜質(zhì)含量相應(yīng)的精度等級(jí)的儀器進(jìn)行分析，5.當(dāng)測(cè)試氣體進(jìn)。出口的純度及其氧痕量 水痕量等雜質(zhì)含量達(dá)到一致時(shí)。應(yīng)認(rèn)為純度測(cè)試合格.檢查數(shù)量.按系統(tǒng)全數(shù)檢查。檢驗(yàn)方法，儀器檢查，12 2 7，管路系統(tǒng)的試驗(yàn)應(yīng)符合下列規(guī)定.1。高純氣體.特種氣體供應(yīng)設(shè)施的強(qiáng)度試驗(yàn)、氣密性試驗(yàn)和泄漏量試驗(yàn)及試驗(yàn)壓力均應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件要求執(zhí)行,2，試驗(yàn)氣體宜采用無(wú)油干燥壓縮空氣或純氮?dú)饣蚣兒?試驗(yàn)氣體壓力按規(guī)定逐步升至系統(tǒng)強(qiáng)度試驗(yàn)壓力后，應(yīng)保持10min、然后降壓至氣密性試驗(yàn)壓力,檢查接口.焊縫、應(yīng)以不漏為合格 3,氣密性試驗(yàn)合格后、進(jìn)行泄漏量試驗(yàn)，試驗(yàn)氣體為純氮或無(wú)油干燥壓縮空氣時(shí).系統(tǒng)應(yīng)以設(shè)計(jì)壓力保持24h 檢查泄漏率不超過(guò)0。5，為合格 采用氦氣為試驗(yàn)氣體時(shí) 系統(tǒng)應(yīng)以設(shè)計(jì)壓力保持1h、檢查泄漏率不應(yīng)超過(guò)0、5 為合格，不合格時(shí) 應(yīng)檢查原因并進(jìn)行完善后.再進(jìn)行泄漏量試驗(yàn),直至合格為止.4.管路系統(tǒng)的試驗(yàn) 不應(yīng)包含純化設(shè)備,特氣柜和閥門箱等,檢查數(shù)量.按系統(tǒng)全數(shù)檢查，檢驗(yàn)方法、觀察檢查,儀表檢查。一般項(xiàng)目12 2.8、管路吹掃應(yīng)符合下列規(guī)定、1.應(yīng)按氣體品種.工作參數(shù)分系統(tǒng)分別進(jìn)行吹掃,2。管路系統(tǒng)應(yīng)采用0，3MPa 0、5MPa的無(wú)油干燥壓縮空氣或純氮進(jìn)行吹掃、吹掃氣體應(yīng)設(shè)置過(guò)濾精度嚴(yán)于0.3μm的氣體過(guò)濾器去除微粒.對(duì)輸送可燃?xì)怏w的管路宜采用純氮吹掃.3，在管路系統(tǒng)吹掃氣體排出口設(shè)靶檢查、應(yīng)以靶上未見(jiàn)微粒為合格，對(duì)輸送可燃?xì)怏w的管路系統(tǒng) 應(yīng)以排出口吹掃氣體中含氧量小于1、為合格、檢查數(shù)量.按系統(tǒng)全數(shù)檢查。檢驗(yàn)方法。觀察檢查,儀表檢查，