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- 有色金屬工業(yè)環(huán)境保護(hù)工程設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50988-2014
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 大氣污染防治
- 4.1 一般規(guī)定
- 4.2 采礦與選礦
- 4.3 重有色金屬冶煉
- 4.4 輕金屬冶煉
- 4.5 半導(dǎo)體材料制備
- 4.6 稀有金屬及產(chǎn)品制備
- 4.7 有色金屬加工
- 4.8 有色金屬再生
- 5 水污染防治
- 6 固體廢物污染防治
- 7 噪聲污染防治
- 8 環(huán)境監(jiān)測(cè)
- 附錄A 初步設(shè)計(jì)文件環(huán)境保護(hù)篇主要內(nèi)容及深度要求
- 附錄B 有色金屬工業(yè)環(huán)境保護(hù)設(shè)施劃分
- 附錄C 構(gòu)筑物及場(chǎng)地防滲要求
- 附錄D 有色金屬企業(yè)環(huán)境監(jiān)測(cè)站
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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4,5，半導(dǎo)體材料制備4。5 1。硅，鍺材料制備廢氣治理應(yīng)符合下列要求,1 氯化氫合成和三氯氫硅合成 提純過程產(chǎn)生的含氯化氫的廢氣，應(yīng)設(shè)置淋洗塔凈化、2,原料儲(chǔ)罐進(jìn)。出料過程產(chǎn)生的含氯硅烷的廢氣，應(yīng)設(shè)置淋洗塔凈化。3 三氯氫硅還原尾氣宜采用干法回收技術(shù)回收氫氣.氯化氫、氯硅烷。并應(yīng)返回相應(yīng)的工藝系統(tǒng)、4、硅芯 硅片。鍺錠腐蝕過程產(chǎn)生的含氟化氫，氮氧化物的廢氣。應(yīng)設(shè)置堿液淋洗塔凈化、5 硅粉倉、鍺精礦倉產(chǎn)生的粉塵應(yīng)設(shè)置高效布袋除塵系統(tǒng)回收、6、氧化鍺制備過程產(chǎn)生的尾氣中含有氯化氫、氯氣 應(yīng)設(shè)置堿液淋洗裝置凈化、7 單晶硅。單晶鍺酸洗過程產(chǎn)生的含氟化氫 氮氧化物的廢氣,應(yīng)設(shè)置堿液淋洗裝置凈化 4 5,2。合成砷化鎵工序必須設(shè)置事故排放的含砷廢氣處理設(shè)施。