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6.空氣凈化6.1.一般規(guī)定6，1、1,潔凈的生產(chǎn)環(huán)境是生產(chǎn)工藝的需要 是確保產(chǎn)品的成品率和產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性.長(zhǎng)壽命所必需的,隨著我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展、各行各業(yè)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的溫度 相對(duì)濕度和潔凈度的要求也越來(lái)越高 例如 大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展很快，在1980年時(shí)其集成度只有64kB。而到目前集成度已提高到1GB。64kB集成電路前工序生產(chǎn)所要求生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度等級(jí)只有4級(jí)和5級(jí).而1GB集成電路前工序生產(chǎn)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境潔凈度等級(jí)的要求提高到1級(jí)和2級(jí).0，1μm，不同的生產(chǎn)工藝.不同的生產(chǎn)工序?qū)ιa(chǎn)環(huán)境的要求也是不相同的、因此,確定潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)時(shí)應(yīng)根據(jù)不同工藝、不同工序?qū)Νh(huán)境的潔凈度要求而定,根據(jù)不同生產(chǎn)工藝。不同生產(chǎn)工序?qū)Νh(huán)境潔凈度的不同要求、該高則高,該低則低,盡量縮小高潔凈度等級(jí)部分的面積，以局部高等級(jí)凈化和全室較低等級(jí)凈化的潔凈室系統(tǒng)代替全室高等級(jí)凈化的潔凈室系統(tǒng)、既能確保不同生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境的要求。又能大幅度地降低初投資和運(yùn)行費(fèi)用、例如 對(duì)于生產(chǎn)1GB超大規(guī)模集成電路前工序的潔凈室來(lái)說(shuō),在整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中只有少數(shù)工序.制版。光刻等 對(duì)環(huán)境的潔凈度等級(jí)要求最高為1級(jí)或2級(jí) 而其他大部分工序只要求5級(jí),6級(jí).甚至只有7級(jí),不需將全部潔凈室都設(shè)計(jì)為1級(jí)或2級(jí).6，1.4，人是潔凈室內(nèi)主要的發(fā)塵源 作業(yè)人員進(jìn)入潔凈室必須穿著與潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)相適應(yīng)的潔凈工作服，由于潔凈工作服的透氣性較差,為了保證作業(yè)人員的工作環(huán)境，提高勞動(dòng)生產(chǎn)率，在潔凈室生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境的溫。濕度沒(méi)有特殊要求時(shí).潔凈室內(nèi)的溫度主要是為了作業(yè)人員的舒適、因此，潔凈室溫度冬季為20 22.夏季為24 26，濕度冬季為30，50。夏季為50 70，比較適宜.由于潔凈室,區(qū)、的溫度,相對(duì)濕度首先應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定,只有在生產(chǎn)工藝無(wú)要求時(shí)，才能按本條的規(guī)定根據(jù)作業(yè)人員的舒適度確定、但在本規(guī)范實(shí)施中因潔凈廠房生產(chǎn)的產(chǎn)品多種多樣 作業(yè)人員多少和工作條件也不相同、所以強(qiáng)制執(zhí)行有困難.為此本次修訂改為推薦性條文。6 1，5,本條為強(qiáng)制性條文、現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范、GB，50019中對(duì)一般工業(yè)廠房的新鮮空氣量的規(guī)定為每人每小時(shí)不小于30m3，由于新鮮空氣量是確保潔凈室,區(qū)、作業(yè)人員健康的重要條件之一,所以本次修訂中對(duì)潔凈室.區(qū)、的新鮮空氣量規(guī)定為應(yīng)取補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和,保證供給潔凈室，區(qū),內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3,兩項(xiàng)中的最大值，