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6 3.氣流流型和送風(fēng)量6 3、1 潔凈室的氣流流型應(yīng)考慮避免或減少渦流、這樣可以減少二次氣流.有利于迅速有效地排除粒子,對于空氣潔凈度要求不同的潔凈室，區(qū),所采用的氣流流型亦應(yīng)不同，近年在電子工廠潔凈廠房或醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房內(nèi) 為減少建設(shè)工程造價(jià).降低能量消耗 常常采用同時具有單向流和非單向流的混合流潔凈室、即使在微電子生產(chǎn)潔凈廠房中要求1級 3級的空氣潔凈度等級的生產(chǎn)環(huán)境也采用混合流潔凈室。即在潔凈廠房的潔凈生產(chǎn)區(qū)采用5級，僅在局部或微環(huán)境內(nèi)采用1級.3級 根據(jù)上述情況。本條進(jìn)行了新的規(guī)定，并修改為推薦性條文.6,3.2 潔凈室。區(qū)、的送風(fēng)量是確保其正常運(yùn)行的基本條件 本條規(guī)定的潔凈室 區(qū).送風(fēng)量應(yīng)取三項(xiàng)中最大值是多年來國內(nèi)外的經(jīng)驗(yàn)總結(jié),如果不是 最大值.則將使建造后的潔凈室達(dá)不到所要求的潔凈度等級或環(huán)境條件達(dá)不到要求或作業(yè)人員健康得不到保障 為此、本條規(guī)定為強(qiáng)制性條文,6.3、3。潔凈室送風(fēng)量計(jì)算所用的數(shù)據(jù)是參照國際標(biāo)準(zhǔn) 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境,第四部分,設(shè)計(jì) 施工和啟動,ISO，14644.4 2001中表B 2而編制的，其中。換氣次數(shù)系根據(jù)我國實(shí)際情況確定的、1，表6、3.3空氣潔凈度等級系指靜態(tài)而言.其編制理由如下,1、工程施工前的空氣潔凈度測試,一般都是在空態(tài)或靜態(tài)下進(jìn)行的 2，國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)中大多已明確規(guī)定按靜態(tài)進(jìn)行空氣潔凈度測試 如果設(shè)計(jì)時業(yè)主提出須按動態(tài)進(jìn)行驗(yàn)收時。則另行處理，2.參照已經(jīng)發(fā)布的國際標(biāo)準(zhǔn)。潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境,第四部分,設(shè)計(jì) 施工和啟動,ISO 14644.4中對微電子潔凈室、醫(yī)藥工業(yè)潔凈室的送風(fēng)量的規(guī)定，以及在本規(guī)范修訂過程中對國內(nèi)已投入運(yùn)行的各類潔凈廠房實(shí)際運(yùn)行狀況的調(diào)查研究,經(jīng)分析表明。潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境，第四部分.設(shè)計(jì),施工和啟動,ISO，14644。4、2001中表B，2對不同等級的潔凈室送風(fēng)量、平均風(fēng)速的相關(guān)數(shù)據(jù)基本合理、編寫組結(jié)合國內(nèi)的實(shí)際狀況作了必要的調(diào)整、現(xiàn)將表B,2摘錄于表8 表8，微電子潔凈室實(shí)例注、1，制定最佳設(shè)計(jì)條件之前.首先應(yīng)明確使用環(huán)境的ISO級別有關(guān)的占用狀態(tài)、2、氣流流型符號的意義 U為單向流流型 N為非單向流流型.M為混合流流型，單向流和非單向流的組合流型、3，平均風(fēng)速通常適用于單向流流型.單向流平均流速大小與被控制空間的形狀和熱氣流溫度有關(guān),單向流流速不是指過濾器面風(fēng)速 4.單位面積送風(fēng)量適用于非單向流流型和混合流流型、單位面積送風(fēng)量的推薦值適用于層高為3,0m的潔凈室,5、在潔凈室設(shè)計(jì)中須考慮密封措施。6。對于污染源以及污染區(qū)可用隔板或空氣幕予以有效分隔，由于本條規(guī)定的潔凈送風(fēng)量主要是依據(jù)目前國內(nèi)外的實(shí)際狀況的經(jīng)驗(yàn)總結(jié).各類工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝的差異和不斷進(jìn)步 使其潔凈室的送風(fēng)量有所差異.所以本次修訂將本條改為推薦性條文。