9,5.靜電防護及接地9,5。1.潔凈廠房應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)要求采取靜電防護措施.9 5,2.潔凈室。區(qū) 內(nèi)的防靜電地面 其性能應(yīng)符合下列規(guī)定.1,地面的面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能。并應(yīng)保持長時間性能穩(wěn)定,2,地面的面層應(yīng)采用靜電耗散性的材料,其表面電阻率應(yīng)為1。0、105Ω。1,0 1012Ω 或體積電阻率為1 0 104Ω。cm。1.0、1011Ω、cm,3。地面應(yīng)設(shè)有導(dǎo)電泄放措施和接地構(gòu)造,其對地泄放電阻值應(yīng)為1 0,105Ω 1.0,109Ω,9。5、3,潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)采取防靜電接地措施、9.5.4 潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備,流動液體,氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施、其中有爆炸和火災(zāi)危險場所的設(shè)備。管道應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準,爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范。GB.50058的有關(guān)規(guī)定。9,5、5。防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán).在防靜電接地系統(tǒng)各個連接部位之間電阻值應(yīng)小于0。1Ω.9 5 6,潔凈廠房內(nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則,其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接.直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨絕緣敷設(shè),并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜.9 5.7.接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω。選擇分散接地方式時,各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠離防雷接地系統(tǒng)的接地體,兩者應(yīng)保持20m以上的間距.潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準 建筑物防雷設(shè)計規(guī)范,GB,50057的有關(guān)規(guī)定,