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4,5 微振控制4 5、1,有微振控制要求的潔凈廠房、設(shè)計(jì)應(yīng)考慮建筑結(jié)構(gòu)的選型及地面 樓面，的構(gòu)造做法.如增加基礎(chǔ)及上部結(jié)構(gòu)垂直及橫向剛度,增加地面,樓面，剛度 能有效減小振動(dòng)影響 此外。還應(yīng)考慮隔振縫設(shè)置及其有效的構(gòu)造措施,壁板與地面及頂棚采用柔性連接等.均能減小振動(dòng)傳遞，即減小了對精密設(shè)備、儀器儀表的振動(dòng)影響,在潔凈廠房設(shè)計(jì)中。應(yīng)首先考慮對強(qiáng)振源采取隔振措施，以減小強(qiáng)振源對精密設(shè)備，儀器儀表的振動(dòng)影響.在此基礎(chǔ)上、精密設(shè)備.儀器儀表再根據(jù)各自的容許振動(dòng)值采取被動(dòng)隔振措施,就大致能夠達(dá)到預(yù)定目的，在原規(guī)范中。本條為強(qiáng)制性條文，雖然明確規(guī)定本條只用于有微振控制要求的潔凈廠房 但由于沒有量化的規(guī)定 容易引起執(zhí)行不準(zhǔn)確的問題、實(shí)施以來確有此種情況發(fā)生.為此本次修訂將本條改為推薦性條文,4,5，4，精密設(shè)備，儀器儀表的被動(dòng)隔振措施.由隔振臺(tái)座及隔振器、或隔振裝置,組成、根據(jù)隔振設(shè)計(jì)計(jì)算需要。設(shè)定隔振臺(tái)座為不變形剛體,為此應(yīng)對隔振臺(tái)座的形狀、幾何尺寸及材質(zhì)選用等方面加以考慮.使之具有足夠的剛度,某些精密設(shè)備.儀器儀表在運(yùn)行時(shí)。由于移動(dòng)部件位置變化或加工。測試件的質(zhì)量及質(zhì)心位置變化.使各隔振器的變形量不相等。隔振臺(tái)座發(fā)生傾斜，導(dǎo)致精密設(shè)備.儀器儀表難以正常工作、為此，應(yīng)設(shè)置校正傾斜裝置。使隔振臺(tái)座保持原有的水平度,以保證精密設(shè)備.儀器儀表的正常運(yùn)行、隔振系統(tǒng)阻尼過小，會(huì)產(chǎn)生較大的自振。以及受外界突發(fā)干擾。如對隔振臺(tái)座的沖擊,室內(nèi)氣流的擾動(dòng)影響等,造成隔振臺(tái)座晃動(dòng).這種振動(dòng)值有時(shí)會(huì)大于精密設(shè)備，儀器儀表的容許振動(dòng)值 影響其正常運(yùn)行。為此應(yīng)增大隔振系統(tǒng)阻尼值.才能減小此類振動(dòng)。通過多項(xiàng)工程實(shí)踐表明 隔振系統(tǒng)阻尼比不小于0,15是比較恰當(dāng)?shù)摹?,5、5,空氣彈簧的垂直向.橫向剛度很低 使隔振系統(tǒng)具有很低的固有振動(dòng)頻率 同時(shí)它具有可調(diào)節(jié)阻尼值的特性 隔振系統(tǒng)可獲得需要的阻尼 因此 隔振系統(tǒng)具有良好的隔振效果,當(dāng)配用高精度控制閥時(shí)，可自動(dòng)校正隔振臺(tái)座的傾斜.由于空氣彈簧具有其他隔振材料及隔振器不可替代的優(yōu)越性，已被我國及國際工程界普遍采用作為精密設(shè)備 儀器儀表的隔振元件，用于被動(dòng)隔振措施的空氣彈簧隔振裝置由空氣彈簧隔振器.高精度控制閥。儀表箱及氣源組成，由于空氣彈簧隔振裝置在校正隔振臺(tái)座傾斜時(shí)會(huì)排出氣體、如壓縮空氣、氮?dú)獾取Ｒ虼藢庠磻?yīng)進(jìn)行凈化處理 使其達(dá)到潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)，才能保證排出的氣體不致對潔凈室造成污染。