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4，4.噪聲控制4,4。1.潔凈室的噪聲一般不算高.但數(shù)據(jù)差額較大 相差近10dB，A.國(guó)內(nèi)關(guān)于噪聲對(duì)健康影響的研究表明。低于80dB A 的一般工業(yè)噪聲.對(duì)健康的影響不太大，因此。潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應(yīng)，語(yǔ)言通訊干擾和對(duì)工作效率的影響,國(guó)外潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)的研究工作開(kāi)始于20世紀(jì)60年代，1966年制定的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)。潔凈室環(huán)境控制要求、209a和1974年修訂的209b規(guī)定。潔凈室的噪聲控制在可能進(jìn)行必要的通話，滿足操作或產(chǎn)品的要求 并使人員保持在舒適和安全的范圍內(nèi) 在 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第四部分。設(shè)計(jì)。施工和啟動(dòng).ISO、14644、4，2001標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定。應(yīng)依據(jù)潔凈室內(nèi)人的舒適和安全要求及環(huán)境,如其他設(shè)備 的背景聲壓級(jí)來(lái)選擇適宜的聲壓級(jí)，潔凈室的聲壓級(jí)范圍為40 65dB.A,從收集的國(guó)內(nèi)外潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)來(lái)看,有以下幾個(gè)特點(diǎn)。潔凈室的噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)、在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運(yùn)行、滿足必要的談話聯(lián)系.提供舒適的工作環(huán)境.絕大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)給出的允許值在65dB A,70dB，A、范圍。醫(yī)療行業(yè)則更低,現(xiàn)行的大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)均以A聲壓級(jí)作為評(píng)價(jià)指標(biāo)。也有少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)各頻帶聲壓級(jí)提出了限制.少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)按不同的空氣潔凈度等級(jí)分別給出了噪聲容許值。而大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)不同的空氣潔凈度等級(jí)潔凈室提出了一個(gè)統(tǒng)一的容許值,根據(jù)、潔凈廠房噪聲評(píng)價(jià)與標(biāo)準(zhǔn)的研究。所得到的成果。我國(guó)59個(gè)潔凈廠房平均噪聲級(jí)的分布.電子工業(yè)216個(gè)潔凈室的噪聲分布狀況和不同聲級(jí)下各種效應(yīng)的主觀評(píng)價(jià)指標(biāo)如圖1所示。由圖1可見(jiàn).若以65dB A 作為潔凈室噪聲允許值標(biāo)準(zhǔn)，工人感到高煩惱的百分率低于30，對(duì)集中精神感到有較高影響的百分率不到10.而對(duì)工作速度，動(dòng)作準(zhǔn)確性的影響則可忽略.從主觀評(píng)價(jià)調(diào)查看 語(yǔ)言通訊干擾可以屬于輕微的等級(jí).如按這一限值來(lái)衡量現(xiàn)有潔凈室的噪聲.則有75。超過(guò)標(biāo)準(zhǔn),就電子工業(yè)而言，也有47.的潔凈室超過(guò)標(biāo)準(zhǔn) 近年來(lái),我國(guó)的潔凈室環(huán)境技術(shù)有了一定的發(fā)展，但對(duì)噪聲的控制技術(shù)還相對(duì)滯后，從1996 1997年對(duì)國(guó)內(nèi)部分行業(yè)的部分潔凈室進(jìn)行的調(diào)研結(jié)果來(lái)看,還有相當(dāng)一部分的潔凈室噪聲在65dB A 以上.就電子工業(yè)而言、還有約35,的潔凈室超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)、圖1、潔凈廠房噪聲分布與評(píng)價(jià)圖1、59個(gè)潔凈廠房超過(guò)某一聲級(jí)的百分率、2.電子工業(yè)216個(gè)潔凈室超過(guò)某一聲級(jí)的百分率。3，高煩惱率、4、準(zhǔn)確性高影響率 5，工作速度高影響率，6,集中精神高影響率 7.交談及電話通訊高干擾率.同樣由圖1得知.若以70dB。A.為噪聲允許值標(biāo)準(zhǔn)、工人感到高煩惱的百分率將達(dá)到39,對(duì)于集中精神感到有較高影響的百分率為12,4、對(duì)工作速度和動(dòng)作準(zhǔn)確性影響仍不顯著,對(duì)語(yǔ)言通訊的干擾則屬于較高的等級(jí).如按70dB A 的限值來(lái)衡量現(xiàn)有潔凈廠房的噪聲、則多數(shù)可以滿足標(biāo)準(zhǔn)。目前國(guó)內(nèi)的相當(dāng)一部分潔凈室的隔墻使用的是進(jìn)口或國(guó)產(chǎn)的金屬壁板、由于壁板的隔聲量存在著某些薄弱環(huán)節(jié)而造成隔聲不理想,且室內(nèi)的噪聲仍過(guò)高，如上海某公司使用的是進(jìn)口壁板、其室內(nèi)噪聲平均值達(dá)69dB。A 上海某公司使用的也是進(jìn)口壁板光刻間.測(cè)得其室內(nèi)平均噪聲值為70dB、A,其他一些潔凈室的生產(chǎn)環(huán)境的噪聲也偏高 也就是說(shuō)。從噪聲的效應(yīng)來(lái)看、標(biāo)準(zhǔn)低于65dB，A、為好、對(duì)國(guó)內(nèi)幾個(gè)行業(yè)不同氣流流型潔凈室的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)噪聲所進(jìn)行的分析表明，不同氣流流型的靜態(tài)噪聲有較大差異、非單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測(cè)值在41dB。A，64dB，A.范圍內(nèi)，平均為54dB.A 單向流 混合流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測(cè)值在51dB A.75dB,A、范圍內(nèi),平均為65dB、A，非單向流潔凈室比單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低11dB、A.由于噪聲控制要求是確保人員健康的重要條件 本條為強(qiáng)制性條文、4,4.3、4,4 6、控制設(shè)備噪聲首先要從聲源上考慮，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)上的原因而難以做到時(shí) 則應(yīng)從噪聲傳播途徑上采取降噪措施、如把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系密切 必須置于潔凈區(qū)內(nèi)的高噪聲設(shè)備.亦可采用隔聲罩隔絕噪聲 國(guó)內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠房中.不少潔凈室將機(jī)械泵一類(lèi)高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間或技術(shù)夾道內(nèi)，潔凈室內(nèi)噪聲有明顯降低，潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來(lái)源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部?jī)艋O(shè)備運(yùn)行噪聲、靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型，換氣次數(shù)等因素有關(guān)，但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施.不合理的設(shè)計(jì)方案必然導(dǎo)致較高的靜態(tài)噪聲、關(guān)于降低潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲的措施。國(guó)內(nèi)外有關(guān)資料提出了一些有效的措施。如.現(xiàn)代潔凈室概念,一文中強(qiáng)調(diào),選擇那種能滿足氣流要求的噪聲最低的風(fēng)機(jī),還應(yīng)該采用彈性減振基礎(chǔ)、關(guān)于消聲器的使用,文中說(shuō)、管道消聲器在中頻和高頻范圍內(nèi)降低噪聲是有效的 當(dāng)風(fēng)管敷設(shè)長(zhǎng)度在50ft以內(nèi)時(shí) 就應(yīng)考慮采用消聲器，關(guān)于風(fēng)管的連接,文中又說(shuō)，通風(fēng)機(jī)和送風(fēng)管道與回風(fēng)管道之間，應(yīng)采用柔性連接管隔開(kāi)，還要求、將通風(fēng)機(jī)外殼,靜壓箱和管道等加上襯里，如北京某大學(xué)微電子研究所回風(fēng)管道在未處理前噪聲高達(dá)83，5dB A,經(jīng)過(guò)加設(shè)襯墊處理后噪聲降到66，2dB,A,使光刻間的室內(nèi)環(huán)境噪聲平均下降了7dB。A,9dB,A，由此可見(jiàn) 只要對(duì)風(fēng)道系統(tǒng)采取消聲和防止管道固體傳聲等措施.潔凈室噪聲可以大幅度降低，國(guó)內(nèi)還有不少潔凈室.由于系統(tǒng)設(shè)計(jì)合理、并采取了降噪措施，室內(nèi)噪聲得到有效控制、排風(fēng)系統(tǒng)噪聲對(duì)潔凈室影響極大，以集成電路生產(chǎn)為例、在生產(chǎn)過(guò)程中。外延。擴(kuò)散、腐蝕 清洗等多種工序都需設(shè)排風(fēng)系統(tǒng),近年來(lái)，潔凈廠房排風(fēng)系統(tǒng)的噪聲治理日益受到重視,要注意選用低噪聲風(fēng)機(jī)等。由于潔凈室內(nèi)的工作環(huán)境要求比較安靜、潔凈室的密封性能較好,噪聲不易衰減 按規(guī)定限制風(fēng)管風(fēng)速 既減小了凈化空調(diào)系統(tǒng)的阻力 降低了風(fēng)機(jī)壓頭和轉(zhuǎn)速。減弱了風(fēng)機(jī)的噪聲,又防止了風(fēng)速過(guò)大而產(chǎn)生附加噪聲,如上所述 第4,4 3條，第4 4、6條的規(guī)定均為潔凈廠房設(shè)計(jì)中,從平面和空間設(shè)計(jì)到各類(lèi)設(shè)備.系統(tǒng)及其附屬設(shè)備等的選擇都應(yīng)充分考慮噪聲控制措施、以確保達(dá)到潔凈廠房要求的噪聲控制值、原規(guī)范中將第4。4.3條、第4。4,4條規(guī)定為強(qiáng)制性條文.但在實(shí)施中各單位認(rèn)為規(guī)定過(guò)嚴(yán),可操作性也不強(qiáng) 為此本次修訂改為推薦性條文、