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13,11。稀有氣體真空泵13 11,1 稀有氣體真空泵試運轉前應符合下列要求.1、各潤滑部位加注潤滑劑的規(guī)格和數(shù)量應符合設計技術文件的規(guī)定。2 泵試運轉前應盤車靈活,并應無阻滯 3 驅動機的轉向應與泵的轉向相符 4、各指示儀表,安全保護裝置及電控裝置均應靈敏、準確 可靠、檢查數(shù)量、全數(shù)檢查 檢驗方法、觀察檢查,13.11.2。稀有氣體真空泵試運轉應符合下列要求,1.稀有氣體真空泵連續(xù)試運轉時間不應少于30min。2、軸承的溫度和溫升應符合設計技術文件的規(guī)定,3,試運轉中應無異常的聲響和振動,各連接部位應嚴密無泄漏,4 檢查泵的極限真空度,真空度應符合設計技術文件的規(guī)定 5,停泵前應關閉吸氣口處閥門、并應使泵與真空系統(tǒng)隔絕。6,抽吸氣體中含有較多的可凝性蒸汽時、應打開泵的氣鎮(zhèn)閥,檢查數(shù)量,全數(shù)檢查.檢驗方法,觀察檢查,用測溫儀,計時器,真空計測量,
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