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7。3,氣。體7.3 2,條文中規(guī)定風冷式空氣壓縮機設置熱排風管道,這是為了防止熱空氣發(fā)生短路現象,導致設備因為冷卻不當而停機。7、3、3,工程實踐表明,干燥壓縮空氣輸送露點低于、40、時,管道采用不銹鋼無縫鋼管。閥門采用球閥是合適的。7、3 4,由于微波集成組件工廠大宗氣體用量相對較小。采用外購液態(tài)氣儲罐或瓶裝氣體方式供氣可以滿足生產需求。這也是目前微波集成組件工廠普遍采用的大宗氣體供氣方式 7 3 5 氣體純化裝置是保證氣體品質的重要設備、氣體氣源參數和使用參數是確定純化裝置的重要數據、終端純化器靠近工藝設備是為了保證氣體的品質.7,3 6 大宗氣體管道和閥門的選擇與工藝對氣體品質的要求關聯(lián)度較大.因此規(guī)定根據氣體的純度確定管道材料和閥門類型,可燃氣體管道盡量采用波紋管閥。7,3,7、工藝真空系統(tǒng)管道材料根據工藝真空系統(tǒng)壓力選用。7,3。9,常用的工藝真空管道材料為鍍鋅鋼管或厚壁聚氯乙烯管道。
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