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- 微波集成組件生產(chǎn)工廠工藝設(shè)計標(biāo)準 GB 51385-2019
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 總體設(shè)計
- 4 廠房設(shè)計
- 5 工藝布局
- 6 工藝設(shè)計要求
- 7 公用工程
- 7.1 通風(fēng)、空調(diào)與凈化
- 7.2 給排水
- 7.3 氣 體
- 8 電氣、照明與通信
- 本標(biāo)準用詞說明
- 引用標(biāo)準名錄
- 條文說明
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7,3,氣、體7 3 1、空壓站宜布置在綜合動力站內(nèi)、7。3 2、風(fēng)冷式空氣壓縮機應(yīng)設(shè)置熱排風(fēng)管道，7,3.3。管道內(nèi)輸送露點低于，40 的壓縮空氣時.宜采用內(nèi)壁拋光的不銹鋼管，閥門宜采用球閥、管道閥門，附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。7。3.4、大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜根據(jù)用量及社會供應(yīng)狀況在工廠內(nèi)設(shè)置外購液氮氣儲罐或瓶裝氣體供氣 7。3,5。大宗氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對氣體純度 容許雜質(zhì)含量的要求選擇、終端純化裝置應(yīng)設(shè)置在用氣點處。7。3。6 大宗氣體純度大于或等于99，99 露點低于。40、時 宜采用內(nèi)壁拋光的不銹鋼管 閥門宜采用波紋管閥或球閥。7 3，7、工藝真空系統(tǒng)的抽氣能力應(yīng)按生產(chǎn)工藝實際用氣量及系統(tǒng)損耗量確定 7 3.8 工藝真空泵宜布置在微波集成組件廠房內(nèi)，7,3、9,工藝真空系統(tǒng)管道材料宜根據(jù)工藝真空系統(tǒng)真空度選用.