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9,4、空氣調(diào)節(jié)與凈化9,4，2 潔凈室，區(qū).與周圍的環(huán)境要保持一定的靜壓差，這是為了確保潔凈室 區(qū)，的正常工作狀態(tài)或空氣平衡暫時(shí)受到破壞時(shí)，空氣流只能從空氣潔凈度等級高的房間。區(qū)域。流向空氣潔凈度等級低的房間，區(qū)域、使?jié)崈羰?區(qū) 內(nèi)的空氣潔凈度不會受到污染空氣的干擾 玻璃基板工廠內(nèi)因工藝工序連續(xù)性的要求，有些不同潔凈度的潔凈室,區(qū)。以及潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間可能會有一些無法封堵的工藝孔洞.設(shè)計(jì)需要配合工藝進(jìn)行相關(guān)的設(shè)計(jì)考慮.以保持各區(qū)域之間的壓力滿足要求.9、4,4、本條對新風(fēng)處理機(jī)組的設(shè)置做了規(guī)定，1。本款規(guī)定是為了很好地控制潔凈室內(nèi)的正壓值,同時(shí)也為了節(jié)能 2，本款規(guī)定的目的是室外含塵空氣在送入潔凈室前得以徹底過濾、從而延長潔凈室頂部風(fēng)機(jī)過濾單元 FFU,內(nèi)過濾器的使用壽命.3.本款規(guī)定是為了提高新風(fēng)處理系統(tǒng)的可靠性，確保潔凈室內(nèi)的正壓值和潔凈度、9 4 5 本條對凈化空調(diào)機(jī)組的選用及布置做了規(guī)定,1。本款規(guī)定是為了滿足節(jié)能要求。3,本款規(guī)定是為了提高風(fēng)處理系統(tǒng)的可靠性。確保潔凈室內(nèi)的溫濕度和潔凈度、9.4.7 本條對干冷卻盤管的選用及布置做了規(guī)定,1 本款規(guī)定主要是考慮房間相對濕度是由新風(fēng)機(jī)組保證的.干冷卻盤管不承擔(dān)去濕功能，而且為了潔凈室的維護(hù)以及相對濕度的控制，干冷卻盤管不應(yīng)有去濕功能。干冷卻盤管的供水溫度應(yīng)通過計(jì)算確定，通常要高于潔凈室.區(qū) 內(nèi)的露點(diǎn)溫度.2。本款規(guī)定主要是考慮到干冷卻盤管尺寸的選擇會對潔凈室氣流循環(huán)阻力以及處理負(fù)荷起到很大影響,對于風(fēng)過濾單元、FFU，的機(jī)外余壓的選擇以及降低能源消耗都是重要的影響因素,3，本款規(guī)定主要考慮到氣流以及房間溫度的控制，4。干冷卻盤管在正常運(yùn)行時(shí)雖無冷凝水析出。但考慮到潔凈室在高濕環(huán)境下啟動(dòng)干冷卻盤管，管路系統(tǒng)意外滲漏以及干冷卻盤管及水系統(tǒng)需要檢修而排水等因素.最好還應(yīng)設(shè)置積水盤及排水系統(tǒng),5，本款規(guī)定主要考慮到水管閥組如設(shè)置在重要工藝設(shè)備以及配電設(shè)備上方,如產(chǎn)生漏水情況。會對設(shè)備，人員安全以及生產(chǎn)造成很大影響，9，4、9 本條規(guī)定主要是考慮薄膜晶體管顯示器件玻璃基板工廠的特殊性 熔化區(qū)的生產(chǎn)為連續(xù)且不能間斷、為生產(chǎn)服務(wù)的配電間及控制室一般布置在熔化區(qū)域周邊、房間內(nèi)電氣設(shè)備發(fā)熱量較大且周圍環(huán)境溫度均很高。如房間空調(diào)故障會對生產(chǎn)正常運(yùn)行造成很大影響 因此需要考慮設(shè)置備用機(jī)組，當(dāng)冷凍水系統(tǒng)不設(shè)應(yīng)急電源的時(shí)候,如出現(xiàn)供電事故時(shí).設(shè)置了應(yīng)急電源的風(fēng)冷空調(diào)機(jī)組應(yīng)能投入使用、確保房間溫度。同時(shí)。風(fēng)冷空調(diào)機(jī)組應(yīng)能保證全年可運(yùn)行制冷、風(fēng)冷空調(diào)的選型應(yīng)能滿足冬季室外溫度條件下能夠正常運(yùn)行在制冷工況