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- 薄膜晶體管顯示器件玻璃基板生產(chǎn)工廠設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn) GB 51432-2020
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工 藝
- 5 選址與總圖
- 6 建 筑
- 7 結(jié) 構(gòu)
- 8 氣體動(dòng)力
- 8.1 一般規(guī)定
- 8.2 冷、熱源
- 8.3 工業(yè)氣體供應(yīng)
- 8.4 壓縮空氣
- 8.5 清掃真空
- 9 采暖、通風(fēng)、除塵、空氣調(diào)節(jié)與凈化
- 10 給水排水
- 11 電 氣
- 12 節(jié)能與節(jié)水
- 13 空間管理
- 本標(biāo)準(zhǔn)用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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8、3,工業(yè)氣體供應(yīng)8 3 1、氣體應(yīng)有一用一備兩個(gè)供氣源.8、3。2，氣體的品質(zhì)應(yīng)滿足工藝要求。8。3 3，氣體系統(tǒng)宜設(shè)置兩級調(diào)壓，供氣端宜設(shè)置一級調(diào)壓.用氣車間內(nèi)宜設(shè)置二級調(diào)壓.8。3，4.廠區(qū)工業(yè)氣體管線宜采用地上管架敷設(shè)方式，地上，地下管道與其他管道的間距應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)、工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范、GB、50187的有關(guān)規(guī)定、8、3、5?？扇?xì)怏w管道，氧氣管道的車間入口處應(yīng)設(shè)切斷閥.可燃?xì)怏w管道應(yīng)設(shè)置放散管、放散管應(yīng)引至室外并高出屋1m、管口應(yīng)設(shè)阻火器，并應(yīng)設(shè)有防雨及雜質(zhì)進(jìn)入的措施 8。3。6,氮?dú)?、氧氣管道及其閥門，附件.均應(yīng)經(jīng)過脫脂處理.氧氣,天然氣管道應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施,