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- 薄膜晶體管顯示器件玻璃基板生產(chǎn)工廠設(shè)計標(biāo)準(zhǔn) GB 51432-2020
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工 藝
- 5 選址與總圖
- 6 建 筑
- 7 結(jié) 構(gòu)
- 8 氣體動力
- 8.1 一般規(guī)定
- 8.2 冷、熱源
- 8.3 工業(yè)氣體供應(yīng)
- 8.4 壓縮空氣
- 8.5 清掃真空
- 9 采暖、通風(fēng)、除塵、空氣調(diào)節(jié)與凈化
- 10 給水排水
- 11 電 氣
- 12 節(jié)能與節(jié)水
- 13 空間管理
- 本標(biāo)準(zhǔn)用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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8.5,清掃真空8、5、1.玻璃基板生產(chǎn)廠房宜設(shè)置清掃真空系統(tǒng).8、5.2.清掃真空系統(tǒng)的抽氣能力應(yīng)按同時使用清掃真空點的數(shù)量及每個使用點的抽氣量確定，8.5，3。清掃真空設(shè)備應(yīng)布置在生產(chǎn)廠房內(nèi),并應(yīng)根據(jù)使用點設(shè)置就地啟動按鈕、8、5 4、清掃真空管路應(yīng)布置成樹枝狀形式，彎頭應(yīng)采用長半徑彎頭,支管路應(yīng)采用成品Y形接頭沿抽氣方向進入主管路、8.5,5.清掃真空系統(tǒng)宜按生產(chǎn)工藝分區(qū)設(shè)置，8 5。6。清掃真空管道系統(tǒng)末端宜設(shè)吹掃閥，8.5.7,清掃真空系統(tǒng)排氣應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)，大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn),GB 16297的有關(guān)規(guī)定、并應(yīng)符合當(dāng)?shù)丨h(huán)保的規(guī)定，