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9，4.空氣調(diào)節(jié)與凈化9。4.1、玻璃基板工廠內(nèi)的空氣潔凈度,溫度、濕度應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝的要求、9.4.2。玻璃基板工廠潔凈室與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差.靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定、1、不同等級的潔凈室之間的靜壓差不宜小于5Pa、2，潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa，3，潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa。9，4,3、生產(chǎn)區(qū)凈化房間的新風(fēng)量應(yīng)取下列兩項中的較大值、1,補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和,2.供給潔凈室 區(qū)、內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3，供給非潔凈室。區(qū) 內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于30m3.9.4.4 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)應(yīng)進(jìn)行集中處理。新風(fēng)處理機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定.1 送風(fēng)機(jī)應(yīng)采取自動調(diào)速措施.2.空氣宜經(jīng)過粗效,中效 高效過濾器三級處理、3.應(yīng)有良好的氣密性。在工作壓力下的漏風(fēng)率不得大于1，4、應(yīng)設(shè)置備用新風(fēng)處理機(jī)組，或在空調(diào)設(shè)備內(nèi)設(shè)置備用風(fēng)機(jī),5，寒冷地區(qū)或嚴(yán)寒地區(qū)的新風(fēng)機(jī)組。應(yīng)設(shè)置防凍措施以避免危害機(jī)組的正常運行 9、4，5 凈化空調(diào)機(jī)組的選用及布置應(yīng)符合下列規(guī)定.1 送風(fēng)機(jī)宜采取變頻調(diào)速措施。2，應(yīng)有良好的氣密性。在工作壓力下的漏風(fēng)率不得大于1,3 當(dāng)服務(wù)于生產(chǎn)連續(xù)性要求較強(qiáng)的或工藝對房間溫濕度要求較高的環(huán)境時，空調(diào)機(jī)組宜設(shè)置備機(jī)或設(shè)置備用風(fēng)機(jī)，當(dāng)空調(diào)機(jī)組或風(fēng)機(jī)產(chǎn)生故障時.備機(jī)或備用風(fēng)機(jī)應(yīng)自動啟動、9,4,6、風(fēng)機(jī)過濾單元.FFU 或高效過濾風(fēng)口的布置應(yīng)符合下列規(guī)定.1 應(yīng)根據(jù)潔凈度等級及送風(fēng)量來確定、2。應(yīng)根據(jù)房間的層高,吊頂形式 氣流要求以及工藝設(shè)備的布置要求來確定,3、應(yīng)便于檢修及更換過濾器、4 滿布率較高時.外殼的強(qiáng)度應(yīng)滿足檢修的要求、5 送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié) 9 4、7。干冷卻盤管的選用及布置應(yīng)符合下列規(guī)定.1。冷凍水的進(jìn)水溫度。宜高于潔凈室，區(qū)，空氣的露點溫度。2.外形尺寸以及處理溫差應(yīng)根據(jù)房間內(nèi)的循環(huán)空氣風(fēng)量,負(fù)荷情況以及空氣過濾單元所提供的機(jī)外余壓確定，3，布置在同一潔凈室,區(qū)，內(nèi)的干冷卻盤管。在工作條件下空氣側(cè)阻力相差不應(yīng)大于10.4、應(yīng)設(shè)置排水設(shè)施.非落地安裝的干冷卻盤管應(yīng)設(shè)置積水盤，5、供回水管上面閥組的位置設(shè)置,應(yīng)考慮檢修方便并避免設(shè)置在重要工藝設(shè)備以及配電設(shè)備的上方,9,4 8.空態(tài)潔凈室噪聲級設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn) 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范，GB、50472的有關(guān)規(guī)定，9.4。9，設(shè)置在融化區(qū)配電間及控制室的空調(diào)系統(tǒng)宜設(shè)置備用機(jī)組，當(dāng)采用冷凍水作為空調(diào)冷源且冷凍水系統(tǒng)不設(shè)應(yīng)急電源時、宜采用自帶冷源的風(fēng)冷空調(diào)機(jī)組作為備機(jī),風(fēng)冷空調(diào)機(jī)應(yīng)由應(yīng)急電源供電