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- 電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50685-2011
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 純水制備工藝
- 3. 1 一般規(guī)定
- 3. 2 預(yù) 處 理
- 3. 3 脫鹽及深度處理
- 3. 4 精 處 理
- 3. 5 特殊水質(zhì)指標(biāo)的技術(shù)措施
- 3. 6 水箱、水泵
- 4 純水輸送和分配
- 5 純水回收和節(jié)水
- 6 純水站房
- 7 藥品貯存、計(jì)量和輸送
- 8 控制及儀表
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- 消防給水及消火栓系統(tǒng)技術(shù)規(guī)范[附條文說明] GB 50974-2014
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- 室外給水設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB 50013-2018
，3，5 特殊水質(zhì)指標(biāo)的技術(shù)措施3、5 1 3、5.2 純水水質(zhì)指標(biāo)有對微粒?？傆袡C(jī)碳。細(xì)菌。溶解氧和二氧化硅等非電解質(zhì)或弱電解質(zhì)要求是電子工業(yè)純水的獨(dú)有的突出特點(diǎn) 它不同于只有脫鹽要求的純水系統(tǒng)。是一個嚴(yán)密的系統(tǒng)工程 某個處理單元對于去除某種物質(zhì)有特殊的效果、但有可能產(chǎn)生新的污染物,降低了另外的水質(zhì)指標(biāo).例如離子交換單元降低了電解質(zhì)的含量 會增加溶解有機(jī)物和微粒.最終的膜過濾單元降低了水中的微粒 但有可能產(chǎn)生新的微量電解質(zhì)降低水的電阻率等。水箱，水泵和管道閥門的反作用更是顯而易見的.因此要求設(shè)計(jì)中準(zhǔn)確把握處理過程中各項(xiàng)水質(zhì)參數(shù)的變化、避免或減少處理單元的反作用效應(yīng)。采用低TOC析出的離子交換樹脂主要是在拋光混床內(nèi)采用特殊加工的樹脂，例如DOW的MR 3UPW均粒拋光樹脂、R,H的UP6040拋光樹脂等