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1,總 則,1.0.1,本條闡述了編制本規(guī)范的目的和進(jìn)行工程建設(shè)應(yīng)遵守的基本原則,純水的制備始于20世紀(jì)40年代,伴隨著離子交換樹(shù)脂的商業(yè)化生產(chǎn)而發(fā)展起來(lái) 傳統(tǒng)的純水以電導(dǎo)率為表征,主要關(guān)注于去除水中的電解質(zhì),隨著集成電路工業(yè) 液晶顯示器、太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)和LED的迅猛發(fā)展.帶動(dòng)了純水等支持系統(tǒng)的飛速發(fā)展、與傳統(tǒng)的純水相比、當(dāng)代電子工業(yè)純水不僅關(guān)注去除水中的溶解電解質(zhì)、還關(guān)注于去除水中的有機(jī)物。溶解氧.細(xì)菌以及微小顆粒等雜質(zhì)、特別是隨著集成電路的集成度的不斷提升 生產(chǎn)的工藝步驟越來(lái)越多。元件被重復(fù)清洗.對(duì)作為清洗介質(zhì)的純水的要求越來(lái)越高。如果純水品質(zhì)達(dá)不到要求、其本身對(duì)器件就是一種污染 更談不上清洗.本規(guī)范的制定,旨在為電子工業(yè)純水系統(tǒng)的設(shè)計(jì)工作提供較為系統(tǒng)的技術(shù)依據(jù)、推動(dòng)電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)工作的發(fā)展,1、0。2.電子工業(yè)純水系統(tǒng)的設(shè)計(jì)必須遵守工程建設(shè)的基本原則,技術(shù)先進(jìn) 是要求純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)科學(xué).采用的制水工藝和設(shè)備先進(jìn).高效、成熟。安全適用,是要求純水系統(tǒng)穩(wěn)定可靠 滿足生產(chǎn)需求、經(jīng)濟(jì)合理,則是要在保證安全可靠.技術(shù)先進(jìn)的前提下,節(jié)省工程投資費(fèi)用和日常運(yùn)行維護(hù)成本,操作方便,是要滿足日常操作運(yùn)行,檢修維護(hù)的便利和快捷的需求.1、0 3.電子工業(yè)的集成電路工廠和TFT.LCD工廠等都是用水大戶,同時(shí)這類工廠在生產(chǎn)過(guò)程中使用大量的化學(xué)品,其在為社會(huì)創(chuàng)造價(jià)值的同時(shí) 也必然耗費(fèi)大量的水資源。并且?guī)?lái)廢物排放的問(wèn)題。隨著人們對(duì)工業(yè)的發(fā)展所帶來(lái)污染影響的越發(fā)重視 純水系統(tǒng)的設(shè)計(jì)如何節(jié)水和如何減少污染物排放是當(dāng)今電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)和建設(shè)所必須要面對(duì)的問(wèn)題、如何減少化學(xué)品的使用和如何提高水的利用率是系統(tǒng)設(shè)計(jì)必須要解決的問(wèn)題 未來(lái)的電子工業(yè)純水系統(tǒng)肯定是化學(xué)品使用盡可能少、系統(tǒng)回收率盡可能高的系統(tǒng)、減少資源占用、環(huán)境友好的,綠色 的純水系統(tǒng)是必然的發(fā)展趨勢(shì),
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