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.3 純水制備工藝3、1。一般規(guī)定3。1 1，純水制備系統(tǒng)的規(guī)模和供水水質(zhì)直接影響純水系統(tǒng)的投資大小，應根據(jù)生產(chǎn)需要合理確定 關于電子工業(yè)純水水質(zhì)指標、不同電子產(chǎn)品。不同生產(chǎn)工藝和不同廠家都會提出不同的要求，目前國際比較通用的標準是美國材料試驗學會、ASTM.的標準ASTM D5127 07、見表1，該標準主要是針對不同線寬的集成電路生產(chǎn) 有較大參考價值、國內(nèi)的標準只有.電子級水.GB,T,11446 1，1997、水質(zhì)要求較低.并不直接針對電子產(chǎn)品、只適用于水質(zhì)要求較低的電子產(chǎn)品。3、1 2、確定純水制備流程和選擇處理設備是設計的關鍵、影響因素也是多方面的.不應該只強調(diào)某一方面.而應該各種因素綜合考慮,選擇最佳的方案、3.1、3.條文中強調(diào)簡捷和有效非常重要.因為每個處理單元對于水質(zhì)處理來說除了正面作用外.會有或多或少的負面作用 例如離子交換樹脂具有良好的除鹽作用的同時會有溶解有機物和碎顆粒產(chǎn)生、3，1.5、本條強調(diào)全部可利用水源。包括自來水以外的再生水,甚至廢水處理站處理后的水。體現(xiàn)面對水資源匱乏,設計中不能只盯著自來水、而忽略其他水源，掌握可靠的水源水質(zhì)資料是做好純水處理系統(tǒng)設計的先決條件,附錄B列出了水質(zhì)分析項目 當系統(tǒng)中采用反滲透時應檢測水中的鍶 鋇等項目、當采用再生水時應根據(jù)水質(zhì)特點增加一些針對性的理化檢測項目。3 1。6、海水倒灌是沿海地區(qū)、例如上海地區(qū)、在咸潮期的普遍現(xiàn)象,由于水質(zhì)的變化對純水處理特別是前級的預處理和初級處理沖擊很大，因此應切實掌握因海水倒灌引起的水質(zhì)變化、采取有效的對策 見表2,3。1 7 電子工業(yè)純水制備系統(tǒng)的三個階段的劃分是多年經(jīng)驗的科學總結(jié)、電子工業(yè)在電子管的階段對水質(zhì)要求低,基本的手段為離子交換,基本沒有預處理和拋光處理,隨著純水水質(zhì)的提高 在脫鹽系統(tǒng)后出現(xiàn)了精處理,拋光，階段，隨著反滲透在系統(tǒng)中的出現(xiàn) 其運行關鍵是保證進入反滲透的水質(zhì) 形成了預處理系統(tǒng)。條文中明確了各個處理階段的基本要求.見圖1,3、1。8，純水制備系統(tǒng)中保證每個處理單元進水的水質(zhì)非常重要、是長期穩(wěn)定運行的關鍵.特別是電子工業(yè)純水系統(tǒng)中常用的反滲透和電除鹽、其運轉(zhuǎn)的成敗大都在于是否能保證其進水水質(zhì)要求。無數(shù)事例證明，反滲透的關鍵是進水的污染指數(shù)、電脫鹽的關鍵是進水的硬度.當然表3 2 1中所列的進水水質(zhì)指標都是重要的 電滲析在電子工業(yè)純水系統(tǒng)中已很少使用 其進水指標僅供參考。