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- 電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范 GB 50685-2011
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 純水制備工藝
- 3. 1 一般規(guī)定
- 3. 2 預(yù) 處 理
- 3. 3 脫鹽及深度處理
- 3. 4 精 處 理
- 3. 5 特殊水質(zhì)指標(biāo)的技術(shù)措施
- 3. 6 水箱、水泵
- 4 純水輸送和分配
- 5 純水回收和節(jié)水
- 6 純水站房
- 7 藥品貯存、計量和輸送
- 8 控制及儀表
- 附錄A 水質(zhì)全分析報告
- 附錄B 離子交換器設(shè)計參數(shù)
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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.3 5,特殊水質(zhì)指標(biāo)的技術(shù)措施3。5。1。純水水質(zhì)對微粒,總有機(jī)碳，細(xì)菌,溶解氧，二氧化硅及硼等特殊指標(biāo)有要求時、系統(tǒng)的各個處理單元的設(shè)置中除應(yīng)滿足后續(xù)設(shè)備的進(jìn)水水質(zhì)要求外.還應(yīng)滿足對特殊指標(biāo)的處理要求 3、5。2、純水水質(zhì)對TOC有要求時 應(yīng)根據(jù)水質(zhì)要求采用下列措施、1.在初級處理系統(tǒng)中應(yīng)設(shè)置反滲透裝置,2.要求TOC小于20μg。L，50μg,L時.應(yīng)設(shè)置紫外線除有機(jī)物裝置、3 應(yīng)采用低TOC析出的離子交換樹脂。管道、閥門及設(shè)備材料，3。5。3,純水水質(zhì)含有溶解氧指標(biāo)時，系統(tǒng)中應(yīng)設(shè)置脫氧裝置 其后所設(shè)的水箱均應(yīng)采取氮封措施,脫氧裝置宜采用膜脫氣，并應(yīng)根據(jù)水質(zhì)要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定采用一處脫氣處理或多處脫氣處理，3，5，4,最終微粒粒徑要求不小于0，1μm時，應(yīng)在精處理階段設(shè)置微孔過濾.要求小于0,1μm時.宜設(shè)置超濾 3.5.5，產(chǎn)品水水質(zhì)指標(biāo)有二氧化硅含量要求時，系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)采取凝聚過濾，活性炭吸附、微濾、超濾.反滲透。電脫鹽，離子交換等除硅措施 系統(tǒng)中的強(qiáng)堿陰離子交換器和混合床宜按出水硅含量控制交換終點、陰離子交換樹脂再生堿液宜加熱.加熱溫度可為35，50、