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.5 2、純水回收,5,2，1、純水回收設(shè)計(jì)應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝設(shè)計(jì)密切配合 并應(yīng)根據(jù)工程實(shí)際情況 回收水質(zhì)，水量。結(jié)合當(dāng)前的技術(shù).經(jīng)濟(jì)條件等合理確定回收率,并宜符合下列要求 1，應(yīng)用于集成電路生產(chǎn)的超純水系統(tǒng) 其純水回收率不宜低于75，2.應(yīng)用于集成電路封裝測(cè)試生產(chǎn)線的純水系統(tǒng)，其背面減薄廢水和劃片廢水應(yīng)予回收利用，3.應(yīng)用于TFT LCD生產(chǎn)線的超純水系統(tǒng)。其純水回收率不宜低于50.5、2 2,經(jīng)管路系統(tǒng)收集的用后純水應(yīng)連續(xù)檢測(cè)其電導(dǎo)率。pH值和TOC,當(dāng)檢測(cè)值符合回用要求時(shí)、應(yīng)予以回用.不符合回用要求時(shí)。應(yīng)將其排放至廢水處理系統(tǒng),5。2。3?；厥账幚硐到y(tǒng)流程的擬定和設(shè)備的選擇。應(yīng)根據(jù)工程的 具體情況,回收水水質(zhì)、水量以及處理后的用途等因素綜合確定，當(dāng)不能取得回收水水質(zhì)資料時(shí).可按已建同類(lèi)工程經(jīng)驗(yàn)或經(jīng)科學(xué)實(shí)驗(yàn)后確定，