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4.3,光學(xué)加工及檢測(cè)設(shè)備4,3,1,光柵刻線機(jī),全息曝光機(jī).鍍膜機(jī)、環(huán)拋機(jī)均為光學(xué)加工的典型設(shè)備.光柵刻線設(shè)備的工藝有其特殊性,在防止外界振動(dòng)對(duì)刻劃有影響的情況下、其自身的內(nèi)部設(shè)備要產(chǎn)生振動(dòng) 振動(dòng)的幅值現(xiàn)在無(wú)法準(zhǔn)確定量.表4 3.1中的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)為靜態(tài)時(shí)的控制標(biāo)準(zhǔn)。4。3,2,光學(xué)檢測(cè)設(shè)備在頻域范圍內(nèi)的容許振動(dòng)值是長(zhǎng)期工程實(shí)測(cè)資料的經(jīng)驗(yàn)總結(jié).特別是近年來(lái)發(fā)展很快的空間光學(xué)部件檢測(cè)和整機(jī)檢測(cè)實(shí)測(cè)資料經(jīng)驗(yàn)總結(jié),空間光學(xué)設(shè)備的檢測(cè),一般光路長(zhǎng)度達(dá)到十幾米甚至幾十米.分成水平檢測(cè)和垂直檢測(cè)兩種。水平檢測(cè)的基礎(chǔ)一般細(xì)長(zhǎng) 測(cè)點(diǎn)需沿長(zhǎng)度方向均勻布置,并不少于3個(gè),以保證測(cè)試結(jié)果的代表性和可靠性.
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