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4、精密儀器和設備4。1、精密加工與檢測設備4、1。1,精密加工設備在時域范圍內的容許振動值。宜按表4，1.1的規(guī)定確定,4，1.2，電子工廠、納米實驗室及物理實驗室用精密儀器和設備在頻域范圍內1,3倍頻程的容許振動值、宜按表4,1，2的規(guī)定確定。注，當頻率重疊時。應同時滿足兩個頻率區(qū)間上的容許振動要求,4,1。3,三坐標測量機在頻域范圍內的容許振動值、宜按表4、1,3的規(guī)定確定，注、1,本表適用于測量范圍在500mm、2000mm的三坐標測量機，2 ε為測量精度 L為三坐標測量機的最大量程 3、表中30Hz.50Hz之間數(shù)值可采用線性插值計算