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4，精密儀器和設(shè)備4 1，精密加工與檢測設(shè)備4 1.1，本條給出了部分以時(shí)域示值的精密加工設(shè)備的容許振動(dòng)值,并明確是以時(shí)域的峰值表示,4、1 2、本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的容許振動(dòng)值有如下特點(diǎn)、1、由于精密儀器與設(shè)備本身是一個(gè)多自由度的復(fù)雜彈性系統(tǒng).自身具有多個(gè)固有振動(dòng)頻率及阻尼比.當(dāng)外界振動(dòng)頻率與某個(gè)固有振動(dòng)頻率一致時(shí)。系統(tǒng)產(chǎn)生共振，會影響其正常工作.而對于外界環(huán)境振動(dòng)，經(jīng)大量實(shí)例及研究結(jié)果證明,是一種平穩(wěn)隨機(jī)振動(dòng)過程.本身含有豐富的簡諧振動(dòng)頻率.為了確保儀器及設(shè)備的正常工作。對外界環(huán)境中存在各種不同頻率的振動(dòng)幅值進(jìn)行限制,以減弱因共振等產(chǎn)生振動(dòng)影響的做法是較為科學(xué)的.因此，本條規(guī)定的容許振動(dòng)值均采用頻域表達(dá)，2 頻域采用1。3倍頻程中心頻率的幅值表示、這是因?yàn)閷τ陔S機(jī)振動(dòng)頻譜。采用1 3倍頻程帶寬的能量來描述隨機(jī)振動(dòng)幅值大小是合適的、同時(shí)。設(shè)備制造提供的容許振動(dòng)值也基本采用1,3倍頻程的中心頻率值表示、3.由于隨機(jī)振動(dòng)能量分布在較寬的頻率范圍內(nèi)，用峰值描述難以反映隨機(jī)振動(dòng)的特性，采用均方根值有利于數(shù)據(jù)的檢驗(yàn)及比對，因此本條規(guī)定的容許振動(dòng)值采用頻域均方根值 4、由于普通的精密儀器與設(shè)備對于4Hz以下頻段的振動(dòng)不敏感、因此不考慮其振動(dòng)影響，對于4Hz，8Hz。頻段、則反映為對振動(dòng)加速度敏感。因此采用振動(dòng)加速度作為控制指標(biāo).但對于控制精度較高的集成電路,激光裝置,納米加工等。其研發(fā)。加工與試驗(yàn)用儀器及設(shè)備的自身即帶有空氣彈簧隔振裝置，而它們的固有振動(dòng)頻率往往在1Hz、3Hz 為了降低這些頻段的振動(dòng)響應(yīng)、將容許振動(dòng)值的頻段范圍延至1Hz，也即提高了對低頻段的振動(dòng)限值要求，本條明確了電子工廠。納米實(shí)驗(yàn)室及物理實(shí)驗(yàn)室用精密儀器與設(shè)備以頻域的1 3倍頻程均方根值作為容許振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)的限值,且不同頻段以不同的物理量示值 4,1、3 通常大中型三坐標(biāo)測量機(jī),特別是大型懸臂式測量機(jī)容易受到環(huán)境振動(dòng)影響.由于設(shè)備與被測工件較大，測量機(jī)布置位置相對固定、需要安裝在專門的地基基礎(chǔ)上.對基礎(chǔ)振動(dòng)有一定要求 當(dāng)測量機(jī)對測量精度有特殊要求時(shí),需要根據(jù)設(shè)備的具體要求專門設(shè)計(jì)地基基礎(chǔ),或采取必要的減振和隔振措施,根據(jù)三坐標(biāo)測量機(jī)廠家提供的測量機(jī)對環(huán)境振動(dòng)的要求、以及對三坐標(biāo)測量機(jī)測試結(jié)構(gòu)系統(tǒng)的動(dòng)力分析發(fā)現(xiàn)、三坐標(biāo)測量機(jī)的一階固有頻率多在10Hz 30Hz范圍內(nèi)、在此區(qū)間的環(huán)境振動(dòng)容易引起測試機(jī)構(gòu)共振。影響測量精度、在通常情況下。只要確保8Hz，100Hz范圍內(nèi)的基礎(chǔ)振動(dòng)符合設(shè)備使用條件,就能保證測量精度不受振動(dòng)影響.而多數(shù)三坐標(biāo)測量機(jī)要求的頻率范圍是0 5Hz、100Hz。在這個(gè)頻率區(qū)間內(nèi)控制好環(huán)境振動(dòng)，應(yīng)該更能確保三坐標(biāo)測量精度。這樣的要求也更加保險(xiǎn),測量值應(yīng)取平均幅值。測量的波峰因數(shù)應(yīng)小于6,由于三坐標(biāo)測量機(jī)的型式種類非常多,不同廠家不同機(jī)型的容許振動(dòng)限值也不一樣，根據(jù)數(shù)十臺三坐標(biāo)測量機(jī)的技術(shù)條件 在確保80、保證率的前提下、提出了三坐標(biāo)基礎(chǔ)的容許振動(dòng)限值.對于少數(shù)有特殊要求的三坐標(biāo)測量機(jī).則需要根據(jù)具體設(shè)備的要求設(shè)計(jì)基礎(chǔ)。位移限值主要用于低頻振動(dòng)控制,加速度限值用于高頻振動(dòng)控制、對于10Hz、30Hz范圍的振動(dòng)要求較嚴(yán)格一些.當(dāng)頻率大于100Hz時(shí),振動(dòng)控制相對容易一些,有些較低精度三坐標(biāo)測量機(jī)的振動(dòng)要求可以達(dá)到300mm,s2?？紤]到本標(biāo)準(zhǔn)其他章節(jié)的限值條件 容許振動(dòng)加速度值均控制在200mm,s2 300mm、s2,在實(shí)際應(yīng)用中.可以根據(jù)具體測量機(jī)的要求對技術(shù)指標(biāo)作適當(dāng)調(diào)整、圖2是三坐標(biāo)測量機(jī)對環(huán)境振動(dòng)的要求、圖2、三坐標(biāo)測量機(jī)的容許振動(dòng)值