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4 精密儀器和設(shè)備4。1.精密加工與檢測(cè)設(shè)備4 1.1,本條給出了部分以時(shí)域示值的精密加工設(shè)備的容許振動(dòng)值,并明確是以時(shí)域的峰值表示、4 1.2 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的容許振動(dòng)值有如下特點(diǎn)，1 由于精密儀器與設(shè)備本身是一個(gè)多自由度的復(fù)雜彈性系統(tǒng)。自身具有多個(gè)固有振動(dòng)頻率及阻尼比 當(dāng)外界振動(dòng)頻率與某個(gè)固有振動(dòng)頻率一致時(shí)。系統(tǒng)產(chǎn)生共振,會(huì)影響其正常工作，而對(duì)于外界環(huán)境振動(dòng)、經(jīng)大量實(shí)例及研究結(jié)果證明 是一種平穩(wěn)隨機(jī)振動(dòng)過(guò)程。本身含有豐富的簡(jiǎn)諧振動(dòng)頻率 為了確保儀器及設(shè)備的正常工作。對(duì)外界環(huán)境中存在各種不同頻率的振動(dòng)幅值進(jìn)行限制，以減弱因共振等產(chǎn)生振動(dòng)影響的做法是較為科學(xué)的，因此，本條規(guī)定的容許振動(dòng)值均采用頻域表達(dá)。2.頻域采用1、3倍頻程中心頻率的幅值表示.這是因?yàn)閷?duì)于隨機(jī)振動(dòng)頻譜,采用1,3倍頻程帶寬的能量來(lái)描述隨機(jī)振動(dòng)幅值大小是合適的 同時(shí).設(shè)備制造提供的容許振動(dòng)值也基本采用1。3倍頻程的中心頻率值表示 3。由于隨機(jī)振動(dòng)能量分布在較寬的頻率范圍內(nèi)。用峰值描述難以反映隨機(jī)振動(dòng)的特性 采用均方根值有利于數(shù)據(jù)的檢驗(yàn)及比對(duì)。因此本條規(guī)定的容許振動(dòng)值采用頻域均方根值、4.由于普通的精密儀器與設(shè)備對(duì)于4Hz以下頻段的振動(dòng)不敏感,因此不考慮其振動(dòng)影響,對(duì)于4Hz 8Hz.頻段,則反映為對(duì)振動(dòng)加速度敏感、因此采用振動(dòng)加速度作為控制指標(biāo)。但對(duì)于控制精度較高的集成電路 激光裝置，納米加工等,其研發(fā),加工與試驗(yàn)用儀器及設(shè)備的自身即帶有空氣彈簧隔振裝置、而它們的固有振動(dòng)頻率往往在1Hz.3Hz,為了降低這些頻段的振動(dòng)響應(yīng) 將容許振動(dòng)值的頻段范圍延至1Hz。也即提高了對(duì)低頻段的振動(dòng)限值要求，本條明確了電子工廠。納米實(shí)驗(yàn)室及物理實(shí)驗(yàn)室用精密儀器與設(shè)備以頻域的1 3倍頻程均方根值作為容許振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)的限值，且不同頻段以不同的物理量示值 4，1，3 通常大中型三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，特別是大型懸臂式測(cè)量機(jī)容易受到環(huán)境振動(dòng)影響，由于設(shè)備與被測(cè)工件較大 測(cè)量機(jī)布置位置相對(duì)固定,需要安裝在專門(mén)的地基基礎(chǔ)上,對(duì)基礎(chǔ)振動(dòng)有一定要求、當(dāng)測(cè)量機(jī)對(duì)測(cè)量精度有特殊要求時(shí).需要根據(jù)設(shè)備的具體要求專門(mén)設(shè)計(jì)地基基礎(chǔ).或采取必要的減振和隔振措施。根據(jù)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)廠家提供的測(cè)量機(jī)對(duì)環(huán)境振動(dòng)的要求、以及對(duì)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)試結(jié)構(gòu)系統(tǒng)的動(dòng)力分析發(fā)現(xiàn)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的一階固有頻率多在10Hz。30Hz范圍內(nèi)，在此區(qū)間的環(huán)境振動(dòng)容易引起測(cè)試機(jī)構(gòu)共振 影響測(cè)量精度。在通常情況下，只要確保8Hz。100Hz范圍內(nèi)的基礎(chǔ)振動(dòng)符合設(shè)備使用條件、就能保證測(cè)量精度不受振動(dòng)影響,而多數(shù)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)要求的頻率范圍是0 5Hz 100Hz。在這個(gè)頻率區(qū)間內(nèi)控制好環(huán)境振動(dòng) 應(yīng)該更能確保三坐標(biāo)測(cè)量精度,這樣的要求也更加保險(xiǎn) 測(cè)量值應(yīng)取平均幅值 測(cè)量的波峰因數(shù)應(yīng)小于6、由于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的型式種類非常多.不同廠家不同機(jī)型的容許振動(dòng)限值也不一樣。根據(jù)數(shù)十臺(tái)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的技術(shù)條件，在確保80.保證率的前提下、提出了三坐標(biāo)基礎(chǔ)的容許振動(dòng)限值.對(duì)于少數(shù)有特殊要求的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī),則需要根據(jù)具體設(shè)備的要求設(shè)計(jì)基礎(chǔ),位移限值主要用于低頻振動(dòng)控制、加速度限值用于高頻振動(dòng)控制、對(duì)于10Hz。30Hz范圍的振動(dòng)要求較嚴(yán)格一些 當(dāng)頻率大于100Hz時(shí).振動(dòng)控制相對(duì)容易一些，有些較低精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的振動(dòng)要求可以達(dá)到300mm，s2，考慮到本標(biāo)準(zhǔn)其他章節(jié)的限值條件 容許振動(dòng)加速度值均控制在200mm，s2.300mm、s2.在實(shí)際應(yīng)用中,可以根據(jù)具體測(cè)量機(jī)的要求對(duì)技術(shù)指標(biāo)作適當(dāng)調(diào)整，圖2是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)對(duì)環(huán)境振動(dòng)的要求,圖2。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的容許振動(dòng)值