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- 電子工廠化學品系統(tǒng)工程技術規(guī)范 GB 50781-2012
- 1 總 則
- 2 術語、縮略語
- 3 化學品供應系統(tǒng)
- 3.1 一般規(guī)定
- 3.2 化學品供應設備
- 3.3 化學品供應管道系統(tǒng)
- 3.4 設備與管道材質
- 3.5 管道標識
- 4 化學品回收系統(tǒng)
- 5 化學品監(jiān)控及安全系統(tǒng)
- 6 相關專業(yè)設計
- 7 工程施工及驗收
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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3、4 設備與管道材質3，4.1、化學品供應系統(tǒng)與介質接觸的儲罐,桶槽.管道、管道附件應采用不與化學品產生反應，并不向化學品介質滲透微量物質的材質 系統(tǒng)材質的選用應符合表3,4，1的規(guī)定,3、4、2，酸堿類,腐蝕性溶劑類化學品管路中的閥門密封.應采用PFA或PTFE材質。溶劑化學品管路中的閥門密封材料應采用不與輸送介質發(fā)生反應的材質.3.4。3 酸堿類化學品的主供應管道應采用內管PFA。外管C。PVC的雙套管 隔膜閥應采用PFA材質、非腐蝕性溶劑化學品的主供應管道應采用SUS316LEP管、腐蝕性溶劑化學品的主供應管路應采用內管PFA、外管SUS304的雙套管。隔膜閥應采用SUS316L、