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2.術(shù)語 縮略語2,1 術(shù).語2.1、1，化學品系統(tǒng).chemical.system。電子工廠中酸堿化學品，溶劑化學品、研磨液化學品系統(tǒng)的統(tǒng)稱,2，1.2?；瘜W品供應(yīng)系統(tǒng)，chemical supply,system、電子工廠中酸堿化學品,溶劑化學品，研磨液化學品供應(yīng)系統(tǒng)管道與設(shè)備的統(tǒng)稱，2,1。3，化學品回收系統(tǒng)、chemical.reclaiming.system、電子工廠中酸堿化學品，溶劑化學品,研磨液化學品回收系統(tǒng)管道與設(shè)備的統(tǒng)稱.2,1,4。化學品槽車,chemical.lorry，電子工廠中用于運送大用量化學品的專業(yè)車輛，2 1、5 化學品桶槽，chemical,container 電子工廠中用于儲存化學品的小容積容器,放置在化學品儲存.分配間的化學品單元內(nèi)部，2,1。6，化學品儲罐 chemical、storage.tank，電子工廠中用于儲存化學品的大容積容器.固定布置在化學品儲存 分配間內(nèi)，2,1 7、閥門箱 valve manifold、box，VMB。指化學品通過供應(yīng)管道可同時供應(yīng)兩臺或以上的生產(chǎn)設(shè)備的閥門操作箱,2，1，8。分支閥箱 tee.box、TB 化學品供應(yīng)系統(tǒng)中供應(yīng)兩個或以上的閥門箱的管道分配箱。2，1,9 擴充閥箱。future，tee。box。FTB，化學品供應(yīng)系統(tǒng)中用于系統(tǒng)擴充的設(shè)置于系統(tǒng)末端的閥箱，2,1。10、取樣閥箱.sampling.box.SB,指化學品管道上用于化學品取樣的閥門箱體。2。1.11,泄漏探測器 leakage,detector、用于探測化學品單元、化學品儲罐及化學品閥門箱等設(shè)備發(fā)生化學品泄漏并給出信號的裝置.2,1,12 化學品監(jiān)控系統(tǒng) chemical，monitor and。control system，用來對化學品供應(yīng)系統(tǒng) 化學品回收系統(tǒng)實現(xiàn)監(jiān)控.顯示,報警,數(shù)據(jù)收集等功能的遠程監(jiān)控系統(tǒng)、2.1.13，化學品稀釋單元.chemical、dilution,unit.電子工廠的化學品系統(tǒng)中用純水稀釋高濃度化學品設(shè)備的統(tǒng)稱，2 1、14,化學品混合單元.chemical。mixing,unit、電子工廠的化學品系統(tǒng)中作為混合兩種或以上化學品設(shè)備的統(tǒng)稱。2，1。15。化學品補充單元、chemical，charge,unit。槽車的化學品系統(tǒng)備用供應(yīng)設(shè)備.2 1。16,化學品供應(yīng)單元、chemical,transfer.unit,向電子工廠工藝系統(tǒng)供應(yīng)化學品的設(shè)備,2,1.17,化學品單元.chemical.unit.化學品供應(yīng)系統(tǒng)中化學品補充單元,化學品稀釋單元.化學品混合單元 化學品供應(yīng)單元等柜體的統(tǒng)稱.2。1。18 化學品儲存 分配間.chemical,storage,distribution,room.電子工業(yè)生產(chǎn)廠房或獨立建。構(gòu)、筑物內(nèi)用于布置化學品儲存，分配設(shè)備與系統(tǒng)的房間的統(tǒng)稱，2，1。19 液位探測器.level，sensor,用于探測化學品儲罐、化學品單元內(nèi)桶槽的液位的測量元件。2。1、20,火焰探測器.ultraviolet、rays,infra。red、rays UV。IR、可燃溶劑化學品發(fā)生泄漏起火時、探測所產(chǎn)生紅外線或是紫外線的輻射熱感應(yīng)裝置、