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- 電子工業(yè)廠房綜合自動化工程技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) GB 51321-2018
- 條文說明
- 1 總則
- 3 基本規(guī)定
- 4 系統(tǒng)設(shè)計
- 4.1 一般規(guī)定
- 4.2 潔凈室（區(qū)）環(huán)境監(jiān)控設(shè)計
- 4.3 供暖、通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)監(jiān)控設(shè)計
- 4.4 冷熱源系統(tǒng)監(jiān)控設(shè)計
- 4.5 工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)監(jiān)控設(shè)計
- 4.6 壓縮空氣、真空及大宗氣體系統(tǒng)監(jiān)控設(shè)計
- 4.7 純水站系統(tǒng)監(jiān)控設(shè)計
- 4.8 特種氣體及化學(xué)品輸配系統(tǒng)監(jiān)控設(shè)計
- 4.10 工業(yè)污水處理系統(tǒng)監(jiān)控設(shè)計
- 4.11 工廠能源管理及節(jié)能系統(tǒng)設(shè)計
- 4.12 公共安全系統(tǒng)設(shè)計
- 4.13 信息設(shè)施系統(tǒng)設(shè)計
- 4.14 自動化集成系統(tǒng)設(shè)計
- 4.15 信號傳輸線路設(shè)計
- 5 工程施工
- 6 驗(yàn)收移交
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4 2.潔凈室、區(qū)、環(huán)境監(jiān)控設(shè)計4.2，1，對溫度,濕度，露點(diǎn)溫度。壓差,潔凈度 空氣成分等全部或部分空氣參數(shù)進(jìn)行監(jiān)視、測量和記錄。并及時報警、維持潔凈環(huán)境，滿足工藝生產(chǎn)的要求,對于生產(chǎn)新型顯示器件及半導(dǎo)體器件的潔凈室環(huán)境.懸浮分子污染物 Airborne,Molecular、Contaminants.AMC 的控制越來越重要,國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會 Semiconductor Equipment。and，Materials。International,SEMI 的標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)化學(xué)品的特性。將潔凈室中的空氣污染物分為酸 Molecular。Acids,MA 堿.Molecular、Bases MB 可凝聚物，Molecular Condensables MC。和摻雜物、Molecular。Dopants，MD。4,2.2.系統(tǒng)合用便于統(tǒng)一管理、保證數(shù)據(jù)傳輸?shù)目煽?及時，如分開設(shè)置，需采取措施保證不同監(jiān)控系統(tǒng)間數(shù)據(jù)通信的可靠。及時、4、2、3、在同一棟生產(chǎn)廠房內(nèi)。工藝段對潔凈環(huán)境的溫度 濕度 壓力要求不同。但控制系統(tǒng)共用時?？刂葡到y(tǒng)的選擇應(yīng)滿足最嚴(yán)格的要求 4 2.6。個別生產(chǎn)工藝段有化學(xué)沉積現(xiàn)象、化學(xué)物質(zhì)沉積在敏感元件處時會影響測量精度 嚴(yán)重的會使傳感器失去功能，因此.要采取適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)措施