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4,2 精密設(shè)備及儀器容許振動(dòng)值4。2,1.電子工業(yè).納米實(shí)驗(yàn)室及理化實(shí)驗(yàn)室等所用精密設(shè)備及儀器的容許振值,即表4、2 1所規(guī)定的微振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn) 是一個(gè)與國際常用標(biāo)準(zhǔn)接軌的容許振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn),該標(biāo)準(zhǔn)于1983年由美國BBN公司提出,即所謂的VC曲線。1993年.美國環(huán)境科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)。Insti,tute of Environmental。Sciences,and.Technology,確認(rèn)、稱為IEST研究報(bào)告,由于電子工業(yè)的飛速發(fā)展、設(shè)備及工藝方法的快速更新.2007年IEST又導(dǎo)入了納米技術(shù)采用設(shè)備的容許振動(dòng)限值.從而形成了一個(gè)比較完整的標(biāo)準(zhǔn)。我國自改革開放以來.電子工業(yè)發(fā)展迅速、特別是在集成電路,液晶顯示器.納米技術(shù),新能源技術(shù)、激光技術(shù)等方面,建成了一大批工廠及實(shí)驗(yàn)室.同時(shí)由于產(chǎn)品更新而引起的設(shè)備更新及技術(shù)進(jìn)步更是日新月異.這類工程設(shè)計(jì)與建設(shè),都有防微振技術(shù)需求。其中對于精密設(shè)備及儀器的容許振動(dòng)值的確定 幾乎都采用IEST標(biāo)準(zhǔn),而且在工程建成投產(chǎn)后.均滿足了生產(chǎn)要求.因此可以認(rèn)為。采用該標(biāo)準(zhǔn)是恰當(dāng)?shù)?表4,2。1所列容許振動(dòng)值有如下特點(diǎn),1.由于精密設(shè)備及儀器本身是一個(gè)多自由度的復(fù)雜彈性系統(tǒng),自身具有多個(gè)固有振動(dòng)頻率及阻尼比.當(dāng)外界振動(dòng)頻率與其固有振動(dòng)頻率相一致時(shí).系統(tǒng)產(chǎn)生共振,將影響其正常工作,而對于外界環(huán)境振動(dòng),大量實(shí)測及研究結(jié)果表明是一種隨機(jī)振動(dòng)過程。本身含有豐富的簡諧振動(dòng)頻率。為了確保設(shè)備及儀器的正常工作、在頻域?qū)ν饨绛h(huán)境振動(dòng)幅值進(jìn)行限制,以減弱因共振等振動(dòng)影響是較為科學(xué)的,因此 表4、2。1所列容許振動(dòng)值采用頻域表達(dá),2、頻域采用1,3倍頻程帶寬表示、這是因?yàn)閷τ陔S機(jī)振動(dòng)頻譜.采用1。3倍頻程帶寬來描述帶寬振動(dòng)的能量是合適的.同時(shí) 設(shè)備制造商提供的容許振動(dòng)值也基本采用1.3倍頻程帶寬表示.3。由于隨機(jī)振動(dòng)能量分布在較寬的頻率范圍內(nèi)、用峰值描述難以反映隨機(jī)振動(dòng)特性,采用均方根值有利于數(shù)據(jù)的檢驗(yàn)及比對.因此表4,2,1中振動(dòng)幅值采用均方根值.4,在標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)生的初期.由于當(dāng)時(shí)的設(shè)備及儀器對于小于4Hz的頻段的振動(dòng)不敏感.因此就不考慮其振動(dòng)影響,對于4Hz,8Hz頻段.則反映對振動(dòng)加速度敏感。因此采用振動(dòng)加速度作為控制指標(biāo),隨著時(shí)間的推移.電子工業(yè)及以后出現(xiàn)的激光,納米技術(shù)等。工藝精度越來越高 就需研發(fā)精度更高的精密設(shè)備及儀器,這類新研發(fā)的設(shè)備及儀器。自身帶有空氣彈簧隔振裝置 而它們的固有振動(dòng)頻率往往在1Hz.3Hz。為了防止在這些頻段的振動(dòng)影響,對容許振動(dòng)值的頻段范圍延至1Hz,也即提高了對低頻段的振動(dòng)限值要求.4,2.2 本條對實(shí)驗(yàn)室用精密設(shè)備及儀器的容許振動(dòng)值的規(guī)定 沿用了現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn),隔振設(shè)計(jì)規(guī)范,GB 50463中的有關(guān)規(guī)定,4。2,3、本條明確了消聲室和半消聲室容許振動(dòng)加速度值與這些聲學(xué)實(shí)驗(yàn)室所要求的本底噪聲級別有關(guān)、對于要求本底噪聲級別低的。即嚴(yán)格的、其容許振動(dòng)值也小.對于這類聲學(xué)實(shí)驗(yàn)室,振動(dòng)頻率限制在31。5Hz。500Hz,并按倍頻程計(jì)算。4。2。4,消聲水池是為聲學(xué)器件或聲學(xué)裝置進(jìn)行水池聲學(xué)實(shí)驗(yàn)的一個(gè)建筑設(shè)施,根據(jù)聲學(xué)實(shí)驗(yàn)的要求,需對消聲水池壁及池底的振動(dòng)有所限制,其容許振動(dòng)值在頻域衡量.通常頻率下限都在400Hz以上,而對于1000Hz以上的振動(dòng)。在土中及結(jié)構(gòu)中衰減較快??梢院雎?、因此,取頻段400Hz 1000Hz范圍是可行的、
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